გარდამავალ მეტალთა ოქსიდების ნანოფირების მიღების ტექნოლოგიის დამუშავება ნანოხელსაწყოების შექმნისთვის

ავტორი: ბაქარ დუაძე
საკვანძო სიტყვები: სუპერკონდესატორი, ჰაფნიუმი, ცირკონიუმი, იტრიუმი.
ანოტაცია:

წინამდებარე სარიპლომო ნაშრომში განხილულია გარდამავალი მეტალების ჰაფნიუმის, ცირკონიუმისა და იტრიუმის ოქსიდების მიღებისა და კვლევის ტექნოლოგიური პროცესები და შემუშავებულია ტექნოლოგიური მარშრუტი მათ საფუძველზე იონისტორული სრტუქტურის ფორმირებისთვის. დაზუსტდა იონისტორულ სამშრიან სტრუქტურაში შრეთა თანმიმდევრობა და ტექნოლოგიური პროცესები თითოეული შრის ფორმირებისთვის. მიღებულ იქნა სამშრიანი ოქსიდებისგან შემდგარი სტრუქტურები, მათი მაგნეტრონული გაფრქვევით ჟანგბადის და არგონის არეში, სხვადასხვა პარციალურ წნევებზე. ცალკეული ოქსიდური ფირების ელექტრული და სტრუქტურული მახასიათებლების შესწავლისთვის, იმავე ტექნოლოგიურ რეჟიმში მიღებულ იქნა თითოეული ოქსიდური შრე ცალ–ცალკე. კვლევაში გადაწყვეტილია სხვადასხვა ძირითადი ამოცანები როგორებიცაა, აქტიური შრის მიღება მაგნეტრონული გაფრქვევის სხვადასხვა ტექნოლოგიურ პირობებში, იონისტორული სტრუქტურის მისაღებად საჭირო რენტგენო სტრუქტურული ანალიზისათვის სპექტრების ჩაწერა, ძაბვა-ტევადობის (C-V) მახასიათებლების და მემრისტორის ძაბვა-დენის (I-V) მახასიათებლების გაზომვები. მიღებული სტრუქტურები გამოიცადა ინური მოქმედების სტენდზე, რომელიც ითვალისწინებს სტრუქტურაზე საფენსა და ელექტროდს შორის სხვადასხვა პოლარობის ძაბვების მოდებისას დენის მიმართულების განსაზღვრას. შეჯამდა შესაბამისი გაზომვის შედეგები და გაკეთდა დასკვნები.