გარდამავალ და ძნელად დნობად მეტალთა ოქსიდური ფირების მიღება და კვლევა მემრისტორისთვის

ავტორი: ანზორ არევაძე
საკვანძო სიტყვები: მემრისტორი, რენტგენოგრაფიული ანალიზი, მაგნეტრონული გაფრქვევა
ანოტაცია:

განხილულია გარდამავალ მეტალ ჰაფნიუმის და ძნელად დნობად მეტალ ვოლფრამის ოქსიდების აქტიურ შრიანი მემრისტორის მიღებისა და კვლევის ტექნოლოგიური პროცესები. შემუშავდა მემრისტორის მიღების ტექნოლოგიური მარშრუტი. მიღებულ იქნა ერთ პროცესში, ორშრიანი ოქსიდებისგან შემდგარი მერმისტორები, მათი მაგნეტრონული გაფრქვევით ჟანგბადის და არგონის არეში, სხვადასხვა პარციალურ წნევებზე. ცალკეული ოქსიდური ფირების ელექტრული და სტრუქტურული მახასიათებლების შესწავლისთვის, იმავე ტექნოლოგიურ რეჟიმში მიღებულ იქნა თითოეული ოქსიდური შრე ცალ–ცალკე. კვლევაში გადაწყვეტილია სხვადასხვა ძირითადი ამოცანები როგორებიცაა, აქტიური შრის მიღება მაგნეტრონული გაფრქვევის სხვადასხვა ტექნოლოგიურ პირობებში, მემრისტორის მისაღებად საჭირო რენდგენო სტრუქტურული ანალიზისათვის სპექტრების ჩაწერა, ძაბვა-ტევადობის (C-V) მახასიათებლების და მემრისტორის ძაბვა-დენის (I-V) მახასიათებლების გაზომვები. შეჯამდა შესაბამისი გაზომვის შედეგები და გაკეთდა დასკვნები, რომლებითაც დადგინდა, რომ მიღებული მემრისტორი სრულად აკმაყოფილებს მის წინაშე წაყენებულ მოთხოვნებს.